邯郸极大规模集成电路用电子气体产业化项目

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邯郸极大规模集成电路用电子气体产业化项目总建筑面积36.7万平方米,建设厂房、办公楼、实验室等,年产新材料15000吨,其中高纯三氟化氮气体12000吨、高纯六氟化钨气体1000吨、三氟甲基磺酸及系列产品1000吨、氘气5吨、氢气995吨

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